產(chǎn)品/服務(wù)
用于C4F6?C5F8?COS的檢測(cè)器 TP-70DGⅡ
特征：
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通過采用含有催化劑的熱分解器，實(shí)現(xiàn)減少干擾帶來的影響
單觸式的傳感器更換方式
搭載新型智能化傳感器
采用易于觀察的大型字符LCD
搭載流量自動(dòng)調(diào)整功能
用途：
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用于檢測(cè)半導(dǎo)體工廠內(nèi)的C4F6/C5F8/COS
用于對(duì)儲(chǔ)氣瓶存放柜及半導(dǎo)體制造裝置進(jìn)行檢測(cè)
用于無塵室內(nèi)的環(huán)境監(jiān)測(cè)
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產(chǎn)品類別 |
固定式 |
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類型 |
智能型檢測(cè)部 |
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檢測(cè)對(duì)象氣體 |
C4F6/C5F8/COS |
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檢測(cè)原理 |
催化＋定電位電解式 |
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檢測(cè)范圍 |
0～5ppm（C4F6?C5F8） |
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報(bào)警設(shè)定值 |
1st：2ppm/2nd:4ppm（C4F6?C5F8） |
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檢測(cè)方式 |
泵吸式 |
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報(bào)警種類 |
氣體報(bào)警/故障報(bào)警 |
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報(bào)警內(nèi)容 |
1st：ALM1指示燈閃爍、或亮燈(紅色) |
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電源 |
AC100～240V±10% |
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外形尺寸?重量 |
約180(W)×225(H)×285(D)mm（不包含突起部分） |
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使用時(shí)的溫濕度范圍 |
20～40℃（無驟變） |